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產品特點
1：此款鍍膜儀配置有兩個靶槍：一個靶槍配套的是射頻電源，用于非導電靶材的濺射鍍膜；一個靶槍配套的是直流電源，用于導電材料的濺射鍍膜
2：該鍍膜儀可以制備多種不同材料的薄膜，應用非常廣泛。
3：該鍍膜儀體積較小，且配備有觸摸屏控制面板，操作方便。
產品參數
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電源 |
220V 50Hz |
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功率 |
2000W(含真空泵） |
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極限真空度 |
10-6torr |
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工作溫度 |
室溫~500℃ |
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靶槍數量 |
2個（可選配其他數量） |
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靶槍冷卻方式 |
水冷 |
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靶材尺寸 |
Φ50mm，厚度0.1~5mm |
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直流濺射功率 |
500W |
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射頻濺射功率 |
300W/500W |
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樣品臺尺寸 |
140mm |
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樣品臺轉速 |
1~20rpm可調 |
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保護氣體 |
Ar、N2等惰性氣體 |
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進氣氣路 |
2路氣路，質子流量計控制，每個流量為100sccm |
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爐體尺寸 |
500×560×660mm |
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整機尺寸 |
1300×660×1200mm |
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重量 |
160kg |
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可選配件 |
Au、In、Ag、Pt等 |
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配件 |
直流電源控制系統1件；射頻電源控制系統1件； 膜厚儀1套；分子泵1臺；冷水機1臺；冷卻水管（φ6mm） 靶材（不銹鋼靶、陶瓷靶） |
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包裝 |
三合板木質包裝 |
