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CY-1100X-SPC16M磁控濺射鍍膜儀的特點
1:設有真空表、濺射電流表,可實時監控設備工作狀態。
2:可通過調節濺射電流控制器和微型真空閥來控制真空室壓強、電離電流,以獲得*佳鍍膜效果。
3:真空室石英腔體邊緣的橡膠密封圈采用了特殊設計,得以保證真空室長期使用且不出現崩邊現象。
4:用更加經久耐用的陶瓷橡膠密封圈取代了通常用的橡膠密封。
5:采用了大容量濺射真空室和相應面積的濺射靶,是濺鍍出的膜層更加均勻純凈。
6:濺射頭采用了特殊的制冷技術,可以得到高性能、精細顆粒的圖層。
7:可用水冷濺射頭、水冷載物臺。
技術參數
產品型號 |
CY-1100X-SPC16M |
電源 |
220V 50Hz |
靶材直徑 |
50mm |
樣品臺直徑 |
50mm |
真空室尺寸 |
Φ50mm |
*高真空度 |
4×10-2torr |
*大電流 |
50mA |
可設定*長時間 |
9999s |
微型真空氣閥 |
連接φ3mm軟管 |
*高電壓 |
1600V DC |
機械泵流量 |
2L/s |
產品尺寸 |
360×300×380 |
標準配件 |
金靶材1個,進氣針閥1個,保險絲2個 |
可選配件 |
Au、In、Ag、Pt等各種靶材 |
包裝 |
三合板木質包裝 |