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產品詳情
簡單介紹:
本加熱型勻膠機主要利用離心涂覆原理將液態或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,該工藝在材料研究領域有著廣泛的應用。本加熱型勻膠機的工作腔體為聚四氟(塑料王)材質,它是由四氟乙烯經聚合而成的高分子化合物,具有優良的化學穩定性和極強的耐腐蝕性,已廣泛應用于各種需要抗酸堿和有機溶劑的場合。本加熱型勻膠機內安裝有真空數字傳感器,涂敷過程中可實時檢測系統真空度,控制器必須在合適的真空度下電機才可以正常啟動和運行。這樣可以有效保障:可靠吸片并杜絕飛片事故的發生。
詳情介紹:
一、產品簡介:
本產品主要利用離心涂覆原理將液態或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,該工藝在材料研究領域有著廣泛的應用。
二、主要技術特點:
1、可對涂層表面進行恒溫加熱,加熱范圍:室溫~200℃,控溫精度0.1℃。
2、可以用于勻膠涂覆有機物,進行薄膜制備。
3、可以先進行勻膠,然后進行烤膠。
4、可存儲多種不同基片的旋轉涂敷工藝參數。每個涂敷工藝流程可以設置多步不同的旋轉速度
5、勻膠機內安裝有真空數字傳感器,涂敷過程中可實時檢測系統真空度,控制器必須在合適的真空度下電機才可以正常啟動和運行。這樣可以有效保障:可靠吸片并杜絕飛片事故的發生。
6、操作系統有中、英文相互切換供您選擇。
7、工作腔體為 聚四氟(塑料王)材質,它是由四氟乙烯經聚合而成的高分子化合物,具有優良的化學穩定性和極強的耐腐蝕性,已廣泛應用于各種需要抗酸堿和有機溶劑的場合。
三、主要技術參數:
單相交流電源:220V.50Hz
電機功率:150W
基片尺寸:8英寸
可選擇配置: 基片直徑10—200mm可接受訂貨。
主機轉數:0~10000 轉/分。(空轉)
設定時間:1---9999秒。
加熱溫度:室溫~200℃
結構尺寸: 300mm寬 x 300mm深 x 200 mm高 ,
可選配件
1、CY-2Z真空泵
2、真空吸盤尺寸:直徑10,20,25,50,75mm聚四氟乙烯吸盤。
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