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                                        • 產品名稱：卷對卷式PECVD

                                        • 產品型號：
                                        • 產品廠商：成越科儀
                                        • 產品文檔：
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                                        簡單介紹：
                                        卷對卷式PECVD是等離子增強型化學氣相沉積設備（PECVD），并加裝了收放卷裝置。本設備可用于線材的連續化熱處理工藝中，如碳纖維制備、合金及其他材料線材改性處理等應用中。也適合用于石墨烯在卷材上的連續生長。 設備含卷對卷收放卷運動模塊、1200℃雙溫區可開啟式管式爐模塊、PE等離子增強模塊、真空系統以及三路質子流量計供氣系統五部分，整套體系可在真空/氣氛保護環境下工作。 收放卷機構轉速從1~400mm/min可調,機構采用反饋調節，可自動糾正轉速偏差，保證樣品的速度穩定不走樣，從而保證了實驗的**性
                                        詳情介紹：

                                        卷對卷式PECVD技術參數：

                                        1200℃雙溫區管式爐

                                        供電電壓

                                        AC220V，50Hz

                                        *大功率

                                        3KW

                                        加熱溫區

                                        雙溫區 200mm+200mm

                                        工作溫度

                                        ≤1200℃

                                        控溫精度

                                        ±1℃

                                        控溫方式

                                        AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條

                                        爐管材質

                                        高純石英

                                        爐管尺寸

                                        φ80mm I.D x 1400mm L

                                        密封方式

                                        不銹鋼真空法蘭

                                        真空測量

                                        電阻規

                                        工作氣體

                                        氫氣、氮氣、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體

                                        真空泵

                                        雙極旋片式真空泵

                                        極限真空度

                                        10^-1Pa

                                        三路質量流量計

                                        閥門類型

                                        不銹鋼針閥

                                        氣路數量

                                        三路

                                        承壓范圍

                                        0.05~0.3MPa

                                        量程

                                        1~100 SCCM（Ar）

                                        1~200 SCCM（H2）

                                        1~500 SCCM (CH4)

                                        流量控制范圍

                                        ±1.5%

                                        混氣罐容積

                                        750mL

                                        氣路材料

                                        304不銹鋼

                                        管道接口

                                        6.35mm卡套接頭

                                        供電電源

                                        AC220V 50Hz

                                        S射頻電源

                                        輸出功率

                                        500W

                                        輸出精度

                                        ±1%

                                        射頻頻率

                                        13.56MHz

                                        射頻穩定度

                                        ±0.005%

                                        冷卻方式

                                        風冷

                                        豫公網安備 41019702002438號
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