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  • 產品名稱：單溫區旋轉PECVD石墨烯制備系統

  • 產品型號：
  • 產品廠商：成越科儀
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
單溫區旋轉PECVD，安裝有真空自動投料器，爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進料，可以以額定的速率將粉料送入爐管，投料速率可通過調節轉速來更改?？蓪崿F在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用PECVD方法進行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環境下對處理好的料粉進行收集。 設備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面，有效的增強反應效果，提高反應速率，這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備，顆粒包覆等科學實驗上。 本設備特別適合顆粒型樣品實驗，通過機械傳動能夠控制工作管360°不間斷連續旋轉，轉速可調，使得管內物料不斷的被攪拌混合，充分與氣體和等離子體接觸，使樣品的反應更加均勻穩定。
詳情介紹：

射頻電源

 

輸出功率

150W

 

輸出精度

±1%

 

射頻頻率

13.56MHz

 

射頻穩定度

±0.005%

 

冷卻方式

風冷

1200℃單溫區管式爐

供電電壓

AC220V，50Hz

 

*大功率

2KW

 

加熱溫區

單個溫區200mm

 

工作溫度

*高1200℃，連續運行溫度應≤1100℃

 

控溫精度

±1℃

 

控溫方式

AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條

三溫區獨立控制，帶有過熱和斷偶保護

 

爐管材質

高純石英

 

爐管尺寸

φ50x800mm

 

密封方式

真空不銹鋼法蘭、KF16法蘭

 

可調轉速

0-20rpm

 

傾斜角度

0-15°

 

真空泵

旋片機械泵

 

極限真空度

1.0E-1Pa

 

進料方式

真空漏斗加螺桿進料

豫公網安備 41019702002438號
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