產品詳情
                                        • 產品名稱:PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備

                                        • 產品型號:CY-PECVD-R
                                        • 產品廠商:成越科儀
                                        • 產品文檔:
                                        你添加了1件商品 查看購物車
                                        簡單介紹:
                                        本產品為PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備。PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。
                                        詳情介紹:

                                        旋轉PECVD 

                                        本產品為等離子增強回轉化學氣相沉積系統(旋轉PECVD),爐管采用變徑設計,中部管徑較粗且有有混料隔板,能夠隨著爐管的旋轉將粉體或者顆粒反復混合,通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉,使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果;設備另配有等離子發生裝置,采用電感耦合與爐管連接,產生的等離子能夠滿布爐管,有效的提高反應物活化能,降低反應溫度,提高反應效率。設備配有三路質量流量計及混氣裝置,可用于向路管內通入多種氣體,同時設備配有高性能機械泵,能夠快速將爐管抽至真空;通過泵和氣路的配合可以實現多種CVD工藝。旋轉裝置十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。

                                        技術參數

                                        雙溫區管式爐

                                        產品型號

                                        CY-O1200-60IIC-R

                                        設備功率

                                        3KW

                                        爐管材質

                                        高純石英

                                        爐管尺寸

                                        Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm(石英異型管)

                                        爐膛長度

                                        440mm

                                        加熱區長

                                        200mm+200mm

                                        工作溫度

                                        0~1150℃

                                        極限溫度

                                        1200℃

                                        控溫精度

                                        ±1℃

                                        熱電偶類型

                                        K型熱電偶

                                        控溫模式

                                        30段程序控溫,PID參數自整定

                                        顯示模式

                                        高清全彩LCD觸控屏

                                        密封方式

                                        304不銹鋼真空法蘭

                                        供電電源

                                        AC:220V 50/60Hz  

                                        旋轉速度

                                        0~13rpm

                                        傾斜角度

                                        0~35°

                                        3路質量流量計

                                        產品型號

                                        CY-3Z

                                        氣路數量

                                        3路

                                        流量計類型

                                        質量流量計

                                        測量范圍

                                        A路:0~100sccm; B路:0~200 sccm; C路:0~500 sccm

                                        測量精度

                                        ±1.5%

                                        工作壓差

                                        0.1~0.5MPa

                                        管路接口

                                        1/4英寸卡套接頭

                                        供電

                                        AC220V 50/60Hz

                                        真空系統

                                        真空泵

                                        雙極旋片泵

                                        抽速

                                        1.1L/s

                                        抽氣接口

                                        KF16

                                        泵極限真空度

                                        10E-1Pa

                                        供電

                                        AC220V 50/60Hz

                                        射頻電源

                                        信號頻率

                                        13.56MHz±0.005%

                                        功率輸出范圍

                                        0~500W

                                        *大反射功率

                                        100W

                                        射頻輸出接口

                                        50Ω,N-Type,female

                                        功率穩定度

                                        ≤5W


                                        豫公網安備 41019702002438號

                                        国产成人亚洲综合无码