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                                        • 產品名稱：小型電動升降樣品臺蒸發鍍膜儀

                                        • 產品型號：CY-EVP195S-1S-LT
                                        • 產品廠商：成越科儀
                                        • 產品文檔：
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                                        簡單介紹：
                                        本產品為桌面型小型蒸發鍍膜儀，設備安裝有鎢絲籃蒸發源，可提供*大100A的鍍膜電流，*大蒸發溫度可達1800℃，能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍
                                        詳情介紹：

                                        本產品為桌面型小型蒸發鍍膜儀，設備安裝有鎢絲籃蒸發源，可提供*大100A的鍍膜電流，*大蒸發溫度可達1800℃，能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍。真空腔體采用不不銹鋼制作，配合分子泵組可達到5x10-5Pa極限真空，能夠滿足絕大部分材料蒸發所需的真空環境；同時設備采用高罐體及電動升降樣品臺的設計，能夠滿足不同樣品和膜料的蒸鍍要求；升降機構采用焊接波紋管密封，在保證密封性的情況下實現了樣品臺的升降動作。樣品臺的升降及旋轉均可通過屏幕控制，操作簡單直觀，十分適合實驗室使用。

                                        小型蒸發鍍膜儀技術參數：


                                        產品名稱

                                        桌面型電動升降樣品臺蒸發鍍膜儀

                                        產品型號

                                        CY-EVP195S-1S-LT（T高罐體tall；L升降 lift）

                                        安裝條件

                                        1、使用環境溫度 25℃±15℃，濕度 55%Rh±10%Rh；

                                        2、設備供電：AC220V，50Hz，必須有良好接地；

                                        3、額定功率：1200w；

                                        4、設備用氣：設備腔室內需充注氬氣清洗，需客戶自備氬氣，純

                                        度 ≥99.99%；

                                        5、擺放工作臺尺寸要求 600mm×600mm×700mm，承重 70kg 以上；

                                        6、擺放位置要求通風。

                                        技術參數

                                        1、 蒸發源數量：1個，配擋板；

                                        2、 蒸發源電壓：10V

                                        3、 蒸發電流 0～100A 連續可調

                                        4、 配 1個鎢舟、1個鎢絲籃；

                                        5、 不銹鋼電動升降樣品臺,直徑為70mm，旋轉速度1~20rpm連續可調；

                                        6、 樣品與蒸發源的距離為 190~300mm連續可調，真空狀態下也可升降調節 ；

                                        7、 真空腔體為不銹鋼腔體其外徑為195mm，內徑為185mm，高度為350mm；

                                        8、 上蓋采用ISO法蘭密封，便于拆卸檢查；腔體設有前開門，并配有φ60mm的帶擋板石英觀察窗；

                                        9、 真空腔體抽氣接口為 KF40；

                                        10、 進氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭，默認配不銹鋼微調閥以調節進氣量；

                                        11、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏；

                                        12、 可調節蒸發電流，可設置蒸發**電流值、**真空值；

                                        13、 **保護：過流、真空過低自動切斷蒸發電流；

                                        14、 極限真空：5x10-5Pa(搭配分子泵)；

                                        15、 真空測量為電阻規真空計，其量程為：1～105Pa

                                        注意事項

                                        1、為充分發揮腔體的真空性能，建議搭配分子泵組使用。

                                        可選配件

                                        厚監測儀

                                        1、膜厚分辨率：0.0136?（鋁）

                                        2、膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置， 材料應力，溫度和密度

                                        3、測量速度：100ms-1s/次，可設置測量范圍：500000?（鋁）

                                        4、標準傳感器晶體：6MHz

                                        5、適用晶片頻率：6MHz 適用晶片尺寸：Φ14mm 安裝法蘭：CF35

                                        其他配件

                                        1、 鎢舟、鎢絲籃；

                                        2、 有機蒸發源（含石英舟和鎢絲發熱源）；

                                        3、 蒸發源數量可選1~2組；

                                        4、 CY-CZK103系列高性能分子泵組（含復合真空計，測量范圍

                                        10-5Pa~105Pa）；

                                        CY-GZK60系列小型分子泵組（含復合真空計，測量范圍10-5Pa~102Pa）

                                        VRD-4雙極旋片真空泵；

                                        5、 CW3000循環水冷機（風冷，流量10L/min）

                                        6、 KF40真空波紋管；長度可選0.5m、1m、1.5m；KF25卡箍支架

                                        7、 膜厚儀晶振片；


                                        豫公網安備 41019702002438號
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