產品名稱：近距離有機物蒸發鍍膜爐

爐體結構和真空室

?    雙加熱器，兩個溫度控制器，雙通道氣體流量計集成在移動鋁合金框架中

?    腔室由高純度熔融石英管制成

?    石英管尺寸：11”OD / 10.8”ID×9”H

?    真空法蘭由316不銹鋼制成

?    外形尺寸：850（長）×745（寬）×1615（高）mm

真空法蘭

?    帶有一個KFD-25真空端口和兩個氣體出口（需要1/4"管）的頂部法蘭可以手動上下滑動，輕松裝卸基板和蒸發材料

?    底部法蘭有一個KFD-25真空口，帶兩個進氣口（需要1/4"管）和針閥

?    法蘭由雙硅膠O形圈密封，可通過機械泵實現10E-2 Torr的真空壓力，通過分子泵實現10E-5 Torr（不包括真空泵，請單獨訂購）

?    精密防腐數字真空計是標準包裝

氣體流量計

控制面板上安裝了兩個浮子表，測量范圍為：

?    16-160 mL / m

?    400 - 4000 mL / m（用于清洗目的）

加熱器和樣品架

?    兩個短波紅外燈作為加熱元件，用于快速加熱。

?    兩個加熱器之間的距離可在10 - 50 mm之間調節

?    加熱器由不銹鋼制成，帶有水冷夾套，可減少熱輻射并實現快速冷卻

?    3"圓形晶圓支架內置頂部加熱器，可裝載基板

?    包括一個高導熱AlN板（3”直徑×0.5mm厚），它應放在基板的背面，使其均勻加熱

溫度控制器

?    兩個精密數字溫度控制器，30段可編程，可獨立控制頂部和底部加熱器

?    每個控制器都具有PID自動調諧功能，以保護加熱器免受過沖和報警功能，以避免過熱和熱電偶斷開

?    安裝PC通信接口和軟件記錄溫度曲線

工作溫度

每個加熱器的zui高溫度：<=650℃

兩個加熱器之間的zui大溫差：<=300℃取決于兩個加熱器之間的間距：

?    間距30mm zui大。溫差：315℃加熱底部

?    間距40mm zui大。溫差：350℃加熱底部

?    間距50mm zui大。溫差：僅在加熱底部395℃

加熱和冷卻速度

?    加熱：<8oC/ s（僅加熱單個加熱器）

?    冷卻：<10oC/ s（600 - 100oC）Max.

熱電偶

兩個K型熱電偶（外露）分別安裝在頂部和底部加熱器上

工作電壓

208 - 240VAC，單相，20A空氣斷路器

電力需求

總計2200W（每個加熱器1100W）

保證

一年限制終身支持（石英管和加熱燈等消耗部件不在保修范圍內）