產品名稱：臺式緊湊型三靶磁控濺射鍍膜儀

輸入功率
 

·單相110V AC,50/60Hz

·1000W（含真空泵和冷水機）

磁控濺射靶
 

·包括三個帶水冷夾套的 2" 磁控濺射頭，通過快速夾具插入石英室

·射頻電纜更換可在CYKY購買

·法蘭上內置一個手動百葉窗

·包括一臺10L/min數控循環冷水機，用于冷卻濺射頭

濺射靶材

·靶材尺寸要求：2" 直徑 x 1/8" *大厚度

·濺射距離范圍：50-80mm可調

·濺射角度范圍：0-25°可調

·2"直徑Cu靶和Al2O3靶包括用于演示測試

·可根據要求提供各種氧化物 2" 濺射靶材，但需額外付費

·對于目標鍵合，包括 1 mm 和 2 mm 銅背板。

真空腔體

·真空腔體：300 毫米外徑 x 500 毫米高，由不銹鋼制成

·密封法蘭：直徑274毫米。由鋁制成，帶有高溫硅膠O型圈

·包括不銹鋼屏蔽籠，100% 屏蔽來自腔室的射頻輻射

·*大真空度：1.0E-5 Torr，可選配渦輪泵和腔體烘烤

樣品臺

·樣品臺是一個可旋轉的加熱臺，由陶瓷加熱器制成，帶有不銹鋼蓋

·樣品臺尺寸：直徑50毫米，適合*大 2" 晶圓

·轉速：1-10轉可調，涂層均勻

·支架溫度可從室溫調節至*高 600 °C（600 °C 時*高 5 分鐘；500 °C 時*高 2 小時），通過數字溫度控制器精度為 +/- 1.0 °C

真空泵 

·內置KF40真空接口，用于連接真空泵。

·真空度：1.0E-2 Torr 含雙級機械泵

1.0E-3 Torr 帶可選渦輪泵

整機尺寸

540 mm L x 540 mm W x 1000 mm H

包裝重量

大約 145 kg

保修單

一年有限保修，終身支持

是否支持定制

是