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  • 產品名稱：熱絲化學氣相沉積（HFCVD）金剛石涂層設備

  • 產品型號：CY-HFCVD
  • 產品廠商：成越科儀
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簡單介紹：
熱絲化學氣相沉積（Hot filament Chemical Vapor Deposition,HFCVD）擁有工藝成熟，設備簡單等諸多優點，是工業上應用*多的金剛石薄膜制備方法之一。設計用于合成納米金剛石涂層，CVD金剛石薄膜，微晶CVD金剛石涂層，石墨烯，碳納米管（CNTs）和各種其他薄膜涂層
詳情介紹：
熱絲化學氣相沉積（Hot filament Chemical Vapor Deposition,HFCVD）擁有工藝成熟，設備簡單等諸多優點，是工業上應用*多的金剛石薄膜制備方法之一。設計用于合成納米金剛石涂層，CVD金剛石薄膜，微晶CVD金剛石涂層，石墨烯，碳納米管（CNTs）和各種其他薄膜涂層。金剛石作為所有已知材料中*硬的物質，還有用高熱導率，高彈性模量，良好的耐磨性，耐腐蝕性，較低的摩擦系數和化學穩定性，是切削的優良材料。本設備包括反應腔室、支撐系統、水路系統、氣路系統以及自動化控制系統等。設備結構緊湊，布局合理，經由多年設備研發的工程師團隊，反復推敲，多次實驗，結合計算機輔助設計系統無數次校核、驗證。使設備具有優良的沉積性能及可靠的**性。本產品具有節能，可靠，方便，智能化為一體的優良設備。

熱絲化學氣相沉積產品特點：

本產品為雙層不銹鋼腔體式結構，結構緊湊合理；
本產品分上臺架和下臺架兩大部分，下臺架除了用于支撐反應腔室，還布置氣路閥門，水路管道以及各種控制元件。上臺架布置顯示面板，電源器件，合理屏蔽電路干擾；
本產品**分散冷卻水道布局（腔體上蓋，腔體主體上下層和底板，以及熱絲彈力裝置等地方）。水泵，水管，智能監控流量計，水路歧管等，均為封閉式循環系統。
本產品氣路組合主要由工藝氣體供給系統以及真空系統，氣路管道的合理分布，有效利用可使用的空間，氣體流量，壓力的實時監測及**控制。
本產品選用雙基片式真空泵，抽氣速度穩定在65m3/h.極限優良真空全壓為0.5Pa，防護的等級為IP54.

熱絲化學氣相沉積技術指標與特性：

真空腔室

結構：圓筒形+上蓋

材質：304上等不銹鋼

腔體尺寸:Φ640x320mm

電源：

AC220V /三相380V 30KW

控溫

低壓和大電流直流電源，熱絲溫度*高可達2500°C。  

沉積基體表面：600℃左右

腔體壁溫度： <60℃

控溫精度：0.1℃ 

測溫系統

遠紅外光學測溫+熱電偶監測

熱絲裝置：

恒定張力陣列幾何形狀，鉬絲，銅饋通，鎢絲結合處理，方便調整與維護

觀察窗

主觀察窗φ190mm 輔觀察窗φ45mm

水路系統

水冷電極、水冷腔體、水冷熱絲輔助部件

總水管接口尺寸 40mm

冷卻水流量：60L/MIN

真空系統

雙基旋片泵+高真空閥門組合（**閥，流量感應器，調節閥……） ，數顯復合真空計，

*大抽氣速度：65 m3/h

設備保壓：停泵 12 小時候后，真空≤10Pa；

抽氣接口 CF40    排氣接口KF16

操作系統：

PLC+觸摸屏人機界面半自動控制系統；

**系統

報警及保護：對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執行相應保護措施；完善 的邏輯程序互鎖保護系統；

占地尺寸

(主機）L1800×W1150×H1550(mm)。

整機重量

600kg


 

豫公網安備 41019702002438號
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