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  • 產品名稱:CVD法培育鉆石

  • 產品型號:CY-MPCVD-10W
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
人造鉆石是一種由直徑10到30納米的鉆石結晶聚合而成的多結晶鉆石,等離子增強化學氣象沉積PECVD合成法制造,人造鉆石主要用于制造切割工具等工業用途上,同樣也被使用在珠寶首飾上
詳情介紹:

人造鉆石是一種由直徑10到30納米的鉆石結晶聚合而成的多結晶鉆石,等離子增強化學氣象沉積PECVD合成法制造,人造鉆石主要用于制造切割工具等工業用途上,同樣也被使用在珠寶首飾上。

◆10 kW SAIREM微波發生器(開關電源)
◆2.45GHz磁控管微波頻率
◆循環器和隔離器
◆自動操作的EH-tuning元件
等離子源
◆6"等離子源,激發頻率2.45GHz
◆能夠在低到高功率密度等離子體中工作
◆獨特的高功率密度溫度控制能力
◆氣體從下側進入腔室
◆偏置電極
基板支架
◆可更換基板支架:
◆冷卻元件(約D75mm)
◆可更換支架板,便于清潔和維護
◆鉬等離子接觸件
◆生長過程中自動調整高度
小木屋
◆蛤殼式蓋子,便于基板放置和清潔
◆水冷鋁合金結構
氣體管理系統
◆5條氣體管線,包括5個質量流量控制器(根據要求添加)
◆MFC系統
◆壓力控制器范圍:100-300mbar
真空
◆渦輪分子泵+干式初級泵
CVD控制器
◆電腦控制器配方驅動操作
◆遠程控制、檢測、系統升級
◆基板攝像頭(可選)
◆ 高溫計范圍:400-1700°C
人造鉆石

豫公網安備 41019702002438號

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