產品分類
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- 真空熱壓機
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產品詳情
簡單介紹：
人造鉆石是一種由直徑10到30納米的鉆石結晶聚合而成的多結晶鉆石，等離子增強化學氣象沉積PECVD合成法制造，人造鉆石主要用于制造切割工具等工業用途上，同樣也被使用在珠寶首飾上
詳情介紹：
人造鉆石是一種由直徑10到30納米的鉆石結晶聚合而成的多結晶鉆石，等離子增強化學氣象沉積PECVD合成法制造，人造鉆石主要用于制造切割工具等工業用途上，同樣也被使用在珠寶首飾上。
◆10 kW SAIREM微波發生器（開關電源）
◆2.45GHz磁控管微波頻率
◆循環器和隔離器
◆自動操作的EH-tuning元件
等離子源
◆6"等離子源，激發頻率2.45GHz
◆能夠在低到高功率密度等離子體中工作
◆獨特的高功率密度溫度控制能力
◆氣體從下側進入腔室
◆偏置電極
基板支架
◆可更換基板支架：
◆冷卻元件（約D75mm）
◆可更換支架板，便于清潔和維護
◆鉬等離子接觸件
◆生長過程中自動調整高度
小木屋
◆蛤殼式蓋子，便于基板放置和清潔
◆水冷鋁合金結構
氣體管理系統
◆5條氣體管線，包括5個質量流量控制器（根據要求添加）
◆MFC系統
◆壓力控制器范圍：100-300mbar
真空
◆渦輪分子泵+干式初級泵
CVD控制器
◆電腦控制器配方驅動操作
◆遠程控制、檢測、系統升級
◆基板攝像頭（可選）
◆ 高溫計范圍：400-1700°C
