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8寸勻膠機經過小型化設計,整體采用鋁合金結構,鋁合金陽極氧化處理腔體,外觀美觀堅固。儀器采用先進的精密電機,zui高轉速能達到8000轉/秒;控制依靠按鍵和高亮液晶屏,除直接勻膠外還能預存勻膠曲線進行程控勻膠。本儀器在極大的減小了體積的前提下有效的保障了儀器性能和功能,十分適合實驗室選購.
8寸勻膠機用途:
勻膠機可以將液態或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應用于光刻膠旋涂、生物培養基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領域
供電電源
AC220V, 50Hz
樣品尺寸
zui大直徑 8" (~200mm)
腔體材質
不銹鋼
上蓋(特殊要求)
數量:2個(其中1個備用,只是蓋子,不含其它)
石英材質, 便于觀察旋涂狀態
轉速
0~8000rpm 可調
加速度
100~5000rpm/s
速度分辨率
1rpm
操作模式
觸屏控制
注射泵裝置
6通道獨立控制注射泵,但注射泵的控制軟件和勻膠機兼容
適用注射器規格:1ml
- 60ml
zui大行程:90mm
線速度范圍:7.94um/min-79.4mm/min
行程控制精度:誤差≤±0.5%(行程≥zui大行程的30%)
額定線性推力:>90N
滴液裝置(特殊要求)
l 自動和可編程滴液
l 六個獨立注射器和滴液孔,無交叉污染
l 注射器的容量: 5ml到更高
l 其中2 條分配線需要jingque控制:可重復的分配量,每次zui小分配量:50ul±5ul,這兩條線是用于甲苯溶液。 其他4條線的jingque控制要求稍低,zui小分配量:500ul±50ul,用于辛烷或乙腈溶液
l 管子和注射器需要對溶劑甲苯、辛烷、乙腈具有很強的耐受性
l 管子和注射器之間的所有連接都要連接良好,不能泄漏
控制軟件(特殊要求)
程序和存儲配方由步驟組成。 每個步驟至少具有以下可配置參數:時間、旋轉速度、斜率、6條分配線中的每條的分配量和6條分配線中的每條的分配速度。
配方允許循環步驟的子集..
控制軟件配方的典型示例:
步驟1:注液泵 1 分配 50ul 溶劑
步驟2:立刻,旋涂機開始以 3000
rpm 旋轉 30 秒并停止
步驟3:注液泵 2 分配 200ul 溶劑
步驟4:30 秒后,旋涂機開始以 3000
rpm 的速度旋轉
步驟5:10 秒后,注液泵 3 分配 1ml 溶劑
步驟6:40秒后,旋涂機停止
步驟7:重復10 次 步驟 1 至 6
吸盤
4片 (鋁合金,直徑 10mm, 25mm, 55mm 和 150mm)
真空泵
無油泵
泵抽速
50 L/min
勻膠機尺寸
~290mm*365mm*300mm
勻膠機凈重
~20kg
8寸勻膠機技術參數: